真空チャンバー用赤外線ヒーター

真空チャンバーの壁を加熱するのはやめましょう。 真空状態でウェーハや基板を加熱しようとするとき、エネルギーは一箇所に集中してほしいものです。しかし問題は、ほとんどのシステムにおいて「熱の散逸」が起こってしまうことです。赤外線放射は目的の部分に当たる代わりに、チャンバーの壁に吸収されてしまいます。こ...