深紫外線 DUV レジスト焼成ランプ

リソグラフィーの工程では、すぐに習得できます。わずかなバックアップやハードバックアップの誤差だけでも、予期せぬ品質低下を引き起こします。半度程度の誤差でも、重要な寸法が目標値から外れてしまいます。また、粒子の増加によって、良質なウェーハが瞬く間に廃棄物になってしまうこともあります。DUVレジストの...